[发明专利]一种电沉积后硫化退火制备太阳能电池缓冲层硫化锌薄膜材料的方法在审
申请号: | 201610002749.9 | 申请日: | 2016-01-06 |
公开(公告)号: | CN105514192A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 杨穗;曹洲;钟建新;易捷;李红星 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/18 |
代理公司: | 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙) 43108 | 代理人: | 冷玉萍 |
地址: | 411105 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种电沉积后硫化退火制备太阳能电池缓冲层硫化锌薄膜材料的方法。首先制备离子液体,然后将锌的金属盐和硫代硫酸钠按一定浓度溶解于离子液体中,再在基底材料上电沉积制备锌和硫的预制膜,最后将预制膜硫化退火生成硫化锌薄膜。本发明制备的薄膜质量好,可以有效避免析氢反应对薄膜产生的不利影响。薄膜表面平整,致密度高,晶粒大小均匀,完全覆盖基底,与基底的附着性好。与高真空气相法相比,本发明具有成本低廉、工艺简单、原料利用率高、可控性强、能够实现大面积沉积和用于工业化大规模生产等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 硫化 退火 制备 太阳能电池 缓冲 硫化锌 薄膜 材料 方法 | ||
【主权项】:
一种电沉积后硫化退火制备太阳能电池缓冲层硫化锌薄膜材料的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)将氯化胆碱和乙二醇按摩尔比1:2混合,真空放置形成无色透明的离子液体;(2)将锌的金属盐溶解在步骤(1)所得离子液体中,搅拌使其充分溶解;再加入硫代硫酸钠,搅拌使其充分溶解,得到离子液体电沉积溶液;(3)以基底材料为工作电极, 饱和甘汞电极为参比电极,铂丝为对电极,采用三电极恒电位法对步骤(2)所得离子液体电沉积溶液在基底材料上进行电沉积,得到Zn‑S预制膜;(4)将Zn‑S预制膜置于含有硫粉的真空或惰性保护气体中硫化退火,最后得到太阳能电池缓冲层硫化锌薄膜材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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