[发明专利]压电元件及其制造方法、压电传感器有效
| 申请号： | 201610003582.8 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105651429B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 田雪雁 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08;H01L41/047;H01L41/04 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 姜利芳,李峥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及一种压电元件及其制造方法、以及一种压电传感器。该压电元件包括压电部件；分别位于所述压电部件的两侧的第一基板和第二基板；以及位于所述第一基板和所述压电部件之间的第一电极层，位于所述第二基板和所述压电部件之间的第二电极层；其中，所述第一基板和/或所述第二基板靠近所述压电部件的表面具凸起部。根据本发明实施例提供的压电元件，能够提高压电元件的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 传感器 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其特征在于，包括：压电部件；分别位于所述压电部件的两侧的第一基板和第二基板；以及位于所述第一基板和所述压电部件之间的第一电极层，位于所述第二基板和所述压电部件之间的第二电极层；其中，所述第一基板和/或所述第二基板靠近所述压电部件的表面具有凸起部，所述凸起部的垂直于所述第一基板和/或所述第二基板的截面为矩形。
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