[发明专利]柔性场效应晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201610003954.7 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN106941130A | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞;盛洪超 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/10 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性场效应晶体管及其制备方法。所述柔性场效应晶体管包括间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极，所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接；覆盖于所述半导体导电沟道上的介质层；以及，叠设在所述介质层上的栅极。其中，所述半导体导电沟道采用碳纳米管层或氧化还原石墨烯层。本发明通过采用微机电系统加工技术、印刷电子技术与纳米碳材料等相结合，在柔性衬底上制备具有性能良好的场效应晶体管，其结构简单、工艺灵活、成本较低、适于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性场效应晶体管，其特征在于包括：间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极，所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接；覆盖于所述半导体导电沟道上的介质层；以及，叠设在所述介质层上的栅极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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