[发明专利]一种玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料及其制备方法有效
申请号: | 201610004221.5 | 申请日: | 2016-01-05 |
公开(公告)号: | CN105789424B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 雷浩;邰凯平;乔吉祥;靳群;史文博;姜辛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | H01L35/14 | 分类号: | H01L35/14;H01L35/16;H01L35/34 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及复合材料领域,具体涉及一种玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料及其制备方法,该复合材料可作为柔性能源器件、微型传感器等方面的应用。该复合材料包括玻璃纤维基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层,形成核‑壳结构;其中,玻璃纤维的直径为5~10μm,Bi2Te3热电薄膜层的厚度为1~2μm,膜层结构致密且与玻璃纤维表面结合良好。利用非平衡磁控沉积技术制备的玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合热电材料,Bi2Te3沉积层为具有纳米尺度晶粒的致密结构,厚度均匀可调,其热电性能接近于商用块体材料。由于薄膜材料的尺度效应,这种纤维/热电复合材料同时表现出良好的抗弯折性能,可应用于柔性能源器件、微型传感器等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃纤维 bi sub te 热电 薄膜 复合材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料,其特征在于:该复合材料包括玻璃纤维基体以及均匀沉积在其表面上的Bi2Te3热电薄膜层,形成核‑壳结构;其中,玻璃纤维的直径为5~10μm,Bi2Te3热电薄膜层的厚度为1~2μm,膜层结构致密且与玻璃纤维表面结合良好;Bi2Te3热电薄膜层的晶粒尺寸在100nm~2μm范围内变化,并具有(015)和(00l)垂直于薄膜的面外织构;所述的玻璃纤维/Bi2Te3热电薄膜复合材料的制备方法,包括如下步骤:(1)玻璃纤维表面处理:对玻璃纤维表面进行清洗,使用酒精、丙酮和去离子水依次淋洗10~15分钟,然后在真空环境下100~150℃加热烘烤10~30分钟;(2)玻璃纤维表面沉积Bi2Te3热电薄膜层:将清洁处理后的玻璃纤维置于可360度旋转的镀膜样品支架上,在非平衡磁控沉积系统内进行Bi2Te3热电薄膜层的生长,生长条件为:溅射靶材为商用块体Bi2Te3,背景真空度为(4~6)×10‑4 Pa,工作气体为0.4~0.6Pa的高纯氩气,生长加热温度范围为室温至150℃,沉积速率为≥ 5 μm/h,沉积功率为60~100W,样品支架旋转速度为20~40转/分钟。
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