[发明专利]一种惯性传感器的解粘连结构及其方法有效
| 申请号： | 201610004863.5 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105480932B | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郑国光;方华斌;孙艳美 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/125;G01C19/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种惯性传感器的解粘连结构及其方法，包括位于惯性传感器质量块运动方向上的驱动装置，相对于止挡机构固定安装的驱动装置包括用于与质量块接触的顶针组件；所述驱动装置被配置为当质量块与止挡机构发生粘连时，所述驱动装置发生位移，驱动顶针组件将质量块与止挡机构分离。本发明的解粘连结构，当质量块与止挡机构粘连在一起后，控制驱动装置发生位移，从而使顶针组件朝向质量块的方向移动，并最终驱动质量块与止挡机构分离，从而实现了质量块的解粘连，提高了惯性传感器的使用寿命。本发明的解粘连结构，可以借用质量块外侧的冗余边框结构来设计，从而不会增加芯片的占用面积，不会影响MEMS芯片的整体尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 惯性 传感器 粘连 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种惯性传感器的解粘连结构，其特征在于：包括位于惯性传感器质量块(3)运动方向上的止挡机构；还包括位于惯性传感器质量块(3)运动方向上的驱动装置，相对于止挡机构固定安装的驱动装置包括用于与质量块(3)接触的顶针组件(10)；其中，所述驱动装置被配置为：当质量块(3)与止挡机构发生粘连时，所述驱动装置发生位移，驱动顶针组件(10)将质量块(3)与止挡机构分离。
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