[发明专利]防静电器件及其制造方法、基板

摘要

本发明公开了一种防静电器件及其制造方法、基板。其中，防静电器件包括：第一导电层；第一绝缘层，形成在第一导电层上；有源层，形成在第一绝缘层上；刻蚀阻挡层，形成在有源层上；第二导电层，形成在刻蚀阻挡层上，包括相互隔开的第一部分和第二部分；第二导电层的第一部分和第二部分分别通过形成在刻蚀阻挡层中的第一过孔和第二过孔与有源层电连接；第二导电层的第一部分和第二部分中的一个通过贯穿刻蚀阻挡层和第一绝缘层的第五过孔与第一导电层电连接。由于第二导电层通过单独的过孔与第一导电层电连接，因此，可以及时消除第一和第二导电层之间的电位差，有效防止在生产过程中出现静电击穿现象。

主权项

1.一种防静电器件，其特征在于,包括：第一导电层(110)；第一绝缘层(120)，形成在所述第一导电层(110)上；有源层(130)，形成在所述第一绝缘层(120)上；刻蚀阻挡层(140)，形成在所述有源层(130)上；第二导电层(150)，形成在所述刻蚀阻挡层(140)上，包括相互隔开的第一部分(151)和第二部分(152)；其中，所述第二导电层(150)的第一部分(151)和第二部分(152)分别通过形成在所述刻蚀阻挡层(140)中的第一过孔(10)和第二过孔(20)与所述有源层(130)电连接；所述第二导电层(150)的第一部分(151)和第二部分(152)中的一个通过贯穿所述刻蚀阻挡层(140)和所述第一绝缘层(120)的第五过孔(50)与所述第一导电层(110)电连接，其中所述防静电器件还包括：第二绝缘层(160)，形成在所述第二导电层(150)上；和第三导电层(170)，形成在所述第二绝缘层(160)上，所述第二导电层(150)的第一部分(151)和第二部分(152)分别通过形成在所述第二绝缘层(160)中的第三过孔(30)和第四过孔(40)与所述第三导电层(170)电连接。