[发明专利]一种用于对基板进行检测的预警系统及生产设备

摘要

本发明公开了一种用于对基板进行检测的预警系统及生产设备，包括：发射单元和控制单元；其中，发射单元提供第一基准光和第二基准光，第一基准光传输至控制单元，第二基准光经过基板的调制生成一束测试光，测试光传输至控制单元；控制单元获取第一基准光的功率和测试光的功率，将第一基准光的功率与测试光的功率进行比较，根据比较结果，判断基板表面是否具有异物。这样，可以通过检测基板表面上的异物情况，例如是否具有光刻胶，对基板表面上的异物起到预警作用，防止了光刻胶等异物对清洗设备、沉积设备等其他生产设备造成影响，有利于生产设备的维护和保养。

主权项

一种用于对基板进行检测的预警系统，其特征在于，包括：发射单元和控制单元；其中，所述发射单元，用于提供第一基准光和第二基准光，所述第一基准光传输至所述控制单元，所述第二基准光经过所述基板的调制生成一束测试光，所述测试光传输至所述控制单元；所述控制单元，用于获取所述第一基准光的功率和所述测试光的功率，将所述第一基准光的功率与所述测试光的功率进行比较，根据比较结果，判断所述基板表面是否具有异物。