[发明专利]一种掩膜版的清洗装置及清洗方法、蒸镀设备有效
| 申请号： | 201610005888.7 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105537194B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王强;刘利宾 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜版的清洗装置及清洗方法、蒸镀设备。该掩膜版的清洗装置包括振荡装置，所述振荡装置设置于掩膜版上，所述振荡装置在所述掩膜版完成蒸镀后对其施加振动力，使所述掩膜版上的残留材料脱落。而且，该掩膜版的清洗装置还包括静电吸附装置，所述静电吸附装置通过产生的静电吸附所述掩膜版上的残留材料。本发明利用超声振荡原理实现的有机发光材料清洗方法，可以有效避免有机溶剂和高温汽化等清洗方法带来的掩膜版损坏、资源浪费和环境污染等问题。另外，超声振荡清洗还可避免外部污染的引入，使回收的材料可以重复利用，极大地节约了时间和资源成本，适用于绿色生产和大规模量产的发展方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 清洗 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种精细金属掩膜版的清洗装置，其特征在于，包括振荡装置，所述振荡装置在所述精细金属掩膜版完成蒸镀后对其施加振动力，使所述精细金属掩膜版上的残留材料脱落，所述振荡装置包括多个超声振荡器，所述多个超声振荡器分别设置在所述精细金属掩膜版的四个侧边位置，且多个所述超声振荡器在进行清洗时的振动强度和频率不完全相同；以及静电吸附装置，所述静电吸附装置包括电源和多个电极夹具，所述多个电极夹具分别固定于所述精细金属掩膜版的四个拐角位置。
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