[发明专利]一种基板承载装置有效
| 申请号： | 201610005899.5 | 申请日： | 2016-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN105572925B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及液晶显示器设计制造技术领域，尤其涉及一种基板承载装置。本发明提供的基板承载装置，包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，粘性吸附机构由粘性材料制成，压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构。在使用机械手将基板放置基台上时，通过压合吸附机构吸附基板，并将基板压紧在粘性吸附机构上，由粘性材料制成的粘性吸附机构通过分子间作用力对基板进行吸附，将基板固定在基台上，解决了使用夹持器进行固定带来的基板变形的、基板上镀膜的均匀性较差的问题；与传统的使用三角夹持器的固定方式相比，对于基板的固定更加稳定牢固，基板的形变量更低，镀膜的均一度得到很大的提高，同时也解决了基板变形脱落的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板承载装置，其特征在于：包括基台及设于基台上的压合吸附机构和粘性吸附机构，所述粘性吸附机构由粘性材料制成，所述压合吸附机构用于使基板压紧粘性吸附机构；所述粘性吸附机构为设于基台上的第二粘性吸附层，所述压合吸附机构为设于基台与第二粘性吸附层之间的静电吸附层；在所述静电吸附层和第二粘性吸附层之间还设有压力测量层。
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