[发明专利]一种用于四极杆质谱仪的射频电源

摘要

一种用于四极杆质谱仪的射频电源，属于电子仪器技术领域。可控直流电压输出模块101，调频模块102，可控直流电压输出模块103，MCU控制模块104，RF功率放大模块105，RF功率调制模块106，空心变压器107，RF电压采集模块108，四极杆109以及电容C1、C2。优点在于，与传统的用空气可调电容进行调谐的射频电源相比，本发明的射频电源采用频率调谐匹配，拥有更小的体积，更好的可靠性和稳定性，具有更高的自动化水平，带来更佳的仪器易用性和可维护性。

主权项

一种用于四极杆质谱仪的射频电源，能驱动四极杆产生用于质谱过滤的四极电场，其特征在于，包括：可控直流电压输出模块(101)、调频模块(102)、可控直流电压输出模块(103)、MCU控制模块(104)、RF功率放大模块(105)、RF功率调制模块(106)、空心变压器(107)、RF电压采集模块(108)、四极杆(109)以及电容C1、C2；其中,可控直流电压输出模块(101)的入端与可控直流电压输出模块(103)的入端相连，用于接收直流电压设定信号Uset；可控直流电压输出模块(101)与可控直流电压输出模块(103)的出端分别与C1、C2以及空心变压器(107)的两个副边的一对异名端相连；电容C1、C2，用于辅助直流电压耦合到空心变压器(107)；所述调频模块(102)的入端与MCU控制模块(104)的第一出端相连，用于接收频率调节信号；调频模块(102)的出端与RF功率放大模块(105)的第一入端相连，输出RF源信号；所述MCU控制模块(104)的通讯端与外部相连，第二出端与RF功率调制模块(106)的第二入端相连，入端与RF电压采集模块(108)的出端、RF功率调制模块(106)的第三入端相连；MCU控制模块(104)用于控制调频模块(102)的输出频率，采集四极杆上的RF电压大小和进行自动匹配调谐；具体的为MCU控制模块(104)在接收到自动匹配调谐命令后，自动扫描射频频率并采集RF电压，得到RF电压和射频频率之间的关系，从而选择能使RF电压最大的射频频率作为平时的工作频率，以实现自动匹配调谐；所述RF功率放大模块(105)的第二入端与RF功率调制模块(106)的出端相连，出端与空心变压器(107)的初级线圈相连；所述RF功率调制模块(106)的第一入端与外部相连，用于接收RF电压设定信号Vset；RF功率放大模块(105)和RF功率调制模块(106)，用于控制和放大RF功率；所述空心变压器(107)的两个副边的另一对异名端分别与四极杆(109)的正极杆和负极杆相连；用于耦合正负直流电压和RF功率并输出给四极杆(109)；所述RF电压采集模块(108)的入端与四极杆(109)的某一极杆相连；RF电压采集模块(108)用于采集RF电压。