[发明专利]液晶显示面板、阵列基板及其制造方法有效
申请号: | 201610006137.7 | 申请日: | 2016-01-05 |
公开(公告)号: | CN105655290B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 郝思坤 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 梁恺峥 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种阵列基板的制造方法,通过彩色滤光片的光罩制程以及黑矩阵的光罩制程形成凸柱,由凸柱实现Sub PS的作用,无需用以制造Sub PS的光罩(包括灰阶光罩和半色调光罩),从而减少制造PS所使用的光罩的类型及数量,简化制程并降低生产成本。本发明还提供一种采用上述方法制造的阵列基板和液晶显示面板。 | ||
搜索关键词: | 液晶显示 面板 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,所述方法包括:在基材上依次形成栅极、绝缘层、有源半导体层;在所述有源半导体层上形成源极和漏极;在所述绝缘层上形成信号线;在所述源极、所述漏极和所述绝缘层上形成彩色滤光片,所述彩色滤光片包括由同一光罩形成的第一彩色滤光片和第二彩色滤光片,所述第一彩色滤光片形成有暴露所述漏极的表面的接触孔,第二彩色滤光片形成于所述第一彩色滤光片上且位于所述源极和漏极的上方;在所述彩色滤光片上形成黑矩阵,所述黑矩阵包括由同一光罩形成的第一黑矩阵和第二黑矩阵,所述第一黑矩阵形成于所述第一彩色滤光片上且对应位于所述信号线的上方,所述第二黑矩阵形成于所述第二彩色滤光片上且对应位于所述漏极和/或所述源极的上方;在所述第一彩色滤光片上以及所述接触孔内形成像素电极,以使所述像素电极通过所述接触孔与所述漏极电连接;其中,所述第二黑矩阵和所述第二彩色滤光片形成凸柱,且所述凸柱高出所述像素电极的顶面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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