[发明专利]一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种镧钙锰氧‑镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括依次层叠形成在基底上的镧钙锰氧薄膜层、镧锶锰氧薄膜层和钛酸锶铅薄膜层。本发明提供的复合薄膜具有表面粗糙度低、无微裂纹、性能稳定且同时具有良好铁磁性能、铁电性能及室温磁电容效应等优点，且可与半导体集成电路技术相兼容，适用性强；本发明提供的方法原料廉价、无毒，制备过程中无有毒气体排放，环境污染小；本发明制备工艺简单，无需特殊设备，有利于规模化生产。

主权项

1.一种镧钙锰氧‑镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜包括依次层叠形成在基底上的镧钙锰氧薄膜层、镧锶锰氧薄膜层和钛酸锶铅薄膜层；所述镧钙锰氧‑镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜的制备方法包括：制备镧钙锰氧前驱体溶液、镧锶锰氧前驱体溶液以及钛酸锶铅前驱体溶液；将制得的镧钙锰氧前驱体溶液滴加到经过预处理且高速旋转的基底上，得到镧钙锰氧凝胶膜，将其置入退火炉中进行分段热处理，得到镧钙锰氧薄膜；将所得镧锶锰氧前驱体溶液滴加到高速旋转的镧钙锰氧薄膜上，得到镧锶锰氧凝胶膜，将其置入退火炉中进行分段热处理，即得到镧钙锰氧‑镧锶锰氧复合薄膜；将所得钛酸锶铅前驱体溶液滴加到高速旋转的镧钙锰氧‑镧锶锰氧复合薄膜上，得到钛酸锶铅凝胶膜，将其置入退火炉中进行分段热处理，最终得到镧钙锰氧‑镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜。