[发明专利]一种蒸镀系统

摘要

本发明提供了一种蒸镀系统，涉及蒸镀技术领域，解决了现有技术中将蒸镀基板与盖板分离，出现的基板点灯缺陷等问题。一种蒸镀系统，蒸镀机构包括蒸镀源以及依次位于蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板；盖板包括边框，边框形成一个包围的框架区域，边框和蒸镀基板的接触表面形成有黏着部，蒸镀基板与盖板黏着在一起；分离机构包括至少一个支撑板和与支撑板连接的至少一个移动杆，支撑板包括相对的第三表面和第四表面，支撑板的第三表面与框架区域的蒸镀基板的第二表面接触，其中，第二表面与第一表面相对；移动杆与支撑板的第四表面连接，用于带动支撑板在框架区域上下方向移动，且第三表面的面积大于移动杆和支撑板的接触面积。

主权项

一种蒸镀系统，包括：蒸镀机构以及分离机构，其中，所述蒸镀机构用于在蒸镀基板的第一表面蒸镀薄膜，包括蒸镀源以及位于所述蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板，其特征在于，所述蒸镀机构还包括位于所述蒸镀源蒸镀方向侧的盖板，所述蒸镀基板和所述盖板依次位于所述蒸镀源蒸镀方向侧；所述盖板包括：边框，所述边框形成一个包围的框架区域，所述边框和所述蒸镀基板的接触表面形成有黏着部，所述蒸镀基板与所述盖板黏着在一起；所述分离机构用于在薄膜蒸镀完成后将所述蒸镀基板与所述盖板分离，包括：至少一个支撑板和与所述支撑板连接的至少一个移动杆，所述支撑板包括相对的第三表面和第四表面，所述支撑板的第三表面与所述框架区域的蒸镀基板的第二表面接触，其中，所述第二表面与所述第一表面相对；所述移动杆与所述支撑板的第四表面连接，用于带动所述支撑板在所述框架区域上下方向移动，且所述第三表面的面积大于所述移动杆和所述支撑板的接触面积。