[发明专利]电容式指纹感测单元与增强电容式指纹读取器及感测方法

摘要

本发明提供了一种电容式指纹感测单元，包括：基底结构，具有至少一层第一金属层及形成充电电路与工作电路，基底结构用以交替地接收充电电压，及分派来自充电电路的电荷到工作电路的电容于停止接收充电电压时；及指纹感测结构，形成于基底结构上；指纹感测结构包括第一金属间电介层、第二金属层、第二金属间电介层、第三金属层及钝化层，其中基底结构分派来自充电电路的电荷到指纹感测结构的电容于停止接收充电电压时。通过增加第一金属间电介层与第二金属间电介层的厚度，使得寄生电容Cp能减少，使得增强电容式指纹感测单元的灵敏度可以改善，以获得增强电容式指纹读取器。本发明还提供了一种增强电容式指纹读取器及感测方法。

主权项

一种用于指纹读取器的电容式指纹感测单元，其特征在于，包括：基底结构，具有至少一层第一金属层及形成充电电路与工作电路，所述基底结构用以交替地接收充电电压，及分派来自所述充电电路的电荷到所述工作电路的电容于停止接收所述充电电压时；及指纹感测结构，形成于所述基底结构上；所述指纹感测结构包括第一金属间电介层、第二金属层、第二金属间电介层、第三金属层及钝化层，所述第一金属间电介层具有第一深度，所述第一深度大于3μm；所述第二金属层形成于所述第一金属间电介层上并形成感测金属板；所述第二金属间电介层形成于所述第二金属层上并围绕所述第二金属层，及覆盖所述感测金属板，所述第二金属间电介层具有第二深度，所述第二深度大于3μm；所述第三金属层形成于所述第二金属间电介层上，形成矩形单元，所述矩形单元具有开孔位于所述感测金属板上，且连接到静电放电保护单元，所述矩形单元能够维持所述第三金属层的电位于信号接地；所述钝化层覆盖所述第三金属层；其中所述基底结构分派来自所述充电电路的电荷到所述指纹感测结构的电容于停止接收所述充电电压时。