[发明专利]一种光纤EFPI超声波传感器

摘要

本发明公开了一种光纤EFPI超声波传感器，包括传感器头单元和传感器体单元，所述传感器体单元包括传感器护套，该传感器头单元设置在该传感器护套内部，所述传感器头单元包括毛细管以及一部分设置在毛细管内的光纤和用于固定光纤的套头支架，在所述毛细管的一端上还设置有用于感测超声波振动的膜片，该膜片的内表面、光纤的前端面以及毛细管的内表面共同界定形成一个法布里‑帕罗腔，该光纤的前端面构成该法布里‑帕罗腔的第一个反射面，该膜片的内表面构成该法布里‑帕罗腔的第二个反射面。该光纤EFPI超声波传感器可实现对超声波信号的高效响应和采集，具有很高的灵敏度和测量精度。

主权项

1.一种光纤EFPI超声波传感器，包括传感器头单元和传感器体单元，其特征在于：所述传感器体单元包括传感器护套，该传感器头单元设置在该传感器护套内部，所述传感器头单元包括毛细管以及一部分设置在毛细管内的光纤和用于固定光纤的套头支架，在所述毛细管的一端上还设置有用于感测超声波振动的膜片，该膜片的内表面、光纤的前端面以及毛细管的内表面共同界定形成一个法布里－帕罗腔，该光纤的前端面构成该法布里－帕罗腔的第一个反射面，该膜片的内表面构成该法布里－帕罗腔的第二个反射面；所述套头支架与毛细管之间通过激光熔接，熔接点的位置与套头支架前端面之间的距离为L2，熔接点的位置与毛细管前端面之间的距离为L3，L2与L3的比值等于该毛细管的热膨胀系数α3与套头支架的热膨胀系数α2之间的比值，且α2大于α3。