[发明专利]基于声表面波的柔性微米线电极的制造方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造方法及装置。铌酸锂晶片上制造一对叉指电极，无盖的PDMS腔体覆盖在铌酸锂晶片的正中央，两个叉指电极分别位于PDMS腔体的两侧并呈对称分布，PDMS腔体内充满由光敏材料和纳米银线组成的液态预聚物，UV固化灯置于铌酸锂晶片下方；启动信号发生器，压电晶片受到高频交变电场的作用而激发声表面波，通过调节信号发生器的输出频率使PDMS腔体覆盖区域形成稳定的驻波场；纳米银线线性排布，待排布稳定后，采用UV固化灯对PDMS腔体进行照射，使液态预聚物固化成型。本发明能实现快速制造柔性的微米线电极，具有操作简便、可控性强和生产效率高等特点。

主权项

1.一种基于声表面波的柔性微米线电极的制造方法，其特征在于包括以下各步骤：(1)构建由压电晶片和叉指电极组成的一对声表面波换能器，并在声表面波换能器之间放置PDMS腔体，使PDMS腔体覆盖在压电晶片正中央；(2)将光敏材料与纳米银线配置成液态预聚物，并通过微量注射泵的控制将其注入PDMS腔体；(3)将声表面波换能器与信号发生器的两个输出通道相连，启动信号发生器，压电晶片在高频交变电场的作用下，其表面会产生高频振动并形成沿叉指电极垂直方向上传播的声表面波，通过调节信号发生器的输出频率，使PDMS腔体覆盖区域产生稳定的驻波场；(4)液态预聚物中的纳米银线在驻波场中受到声辐射力的作用向附近的节线位置移动，使得纳米银线在液态预聚物中线性排布；(5)待液态预聚物中的纳米银线线性排布稳定后，采用UV固化灯对PDMS腔体进行照射，使含有线性排布纳米银线的液态预聚物固化成型，从而获得含有线性排布纳米银线的柔性微米线电极(6)。