[发明专利]彩膜基板的制作方法在审
申请号: | 201610019265.5 | 申请日: | 2016-01-12 |
公开(公告)号: | CN105629559A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 赵国涛 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种彩膜基板的制作方法,首先在来料基板的一表面上沉积金属材料的保护膜,然后在后续制程中使该基板上形成有保护膜的表面与承载台相接触,在基板的另一表面上形成黑色矩阵、色阻层、及外敷层等,之后在薄化之前用盐酸等酸性溶液清除基板表面上的保护膜,最后对基板进行薄化,完成彩膜基板的制作,从而得到彩膜基板,该保护膜可有效保护基板的表面,防止制程中各设备对基板表面造成损伤而导致表面凹凸点的产生,从而避免在对基板进行薄化时造成凹凸点不良进一步加重,提升显示面板的良率。 | ||
搜索关键词: | 彩膜基板 制作方法 | ||
【主权项】:
一种彩膜基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供基板(10),设定所述基板(10)上相对两侧的两表面分别为第一表面(11)和第二表面(12),在所述基板(10)的第一表面(11)上形成金属材料的保护膜(20);步骤2、将基板(10)放置于承载台(100)上,此时,第一表面(11)面向承载台(100),第一表面(11)上的保护膜(20)与承载台(100)相接触,在基板(10)的第二表面(12)上形成黑色矩阵(30)、色阻层(40)、及外敷层(50);步骤3、提供酸性溶液,将第一表面(11)上的保护膜(20)清除掉;步骤4、提供薄化液,利用薄化液从基板(10)的第一表面(11)对基板(10)进行薄化,得到彩膜基板。
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