[发明专利]激光透光栅毛坯玻璃基底辅助机械刻划装置及方法有效
申请号: | 201610019584.6 | 申请日: | 2016-01-09 |
公开(公告)号: | CN105522278B | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 石广丰;史国权;许金凯;张宝庆;蔡洪彬 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | B23K26/346 | 分类号: | B23K26/346;B23K26/064 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及激光透光栅毛坯玻璃基底辅助机械刻划装置,包括玻璃基底、镀铬膜层、镀铝膜层、用于机械刻划的金刚石刀具,所述镀铝膜层通过镀铬膜层连接于玻璃基底上,所述玻璃基底底面四周固定连接于固定支撑件;还包括保持与金刚石刀具同向同步移动的激光,所述激光通过光学元件形成能量聚焦并透过玻璃基底垂直照射在机械刻划区域。本发明还提供了其加工方法。本发明在金刚石刀具机械刻划大面积、大槽深的原刻母版光栅毛坯的过程中,透过玻璃基底的聚焦激光对镀铬膜层和镀铝膜层底部的材料进行加热改性,从而达到改善机械刻划大面积、大槽深的原刻母版光栅槽形质量的目的。 | ||
搜索关键词: | 激光 透光 毛坯 玻璃 基底 辅助 机械 刻划 装置 方法 | ||
【主权项】:
激光透光栅毛坯玻璃基底辅助机械刻划装置,包括玻璃基底、镀铬膜层、镀铝膜层、用于机械刻划的金刚石刀具,所述镀铝膜层通过镀铬膜层连接于玻璃基底上,其特征在于:所述玻璃基底底面四周固定连接于固定支撑件;还包括保持与金刚石刀具同向同步移动的激光,所述激光通过光学元件形成能量聚焦并透过玻璃基底垂直照射在机械刻划区域。
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