[发明专利]一种用于a-Si/nc-Si叠层太阳电池的双功能复合结构微晶硅氧中间层的制备方法

摘要

一种用于a-Si/nc-Si叠层太阳电池的双功能复合结构微晶硅氧中间层薄膜的制备方法，属于太阳电池技术领域。以SiH₄、H₂和PH₃为反应气体，在高氢气稀释比状态下生长n型微晶硅薄层；以SiH₄、H₂、PH₃和CO₂为反应气体，在n型微晶硅层上生长微晶硅氧中间层；以SiH₄、H₂和PH₃为反应气体，在高氢气稀释比状态下生长n型微晶硅薄层；形成三层复合结构。这种方法制备的微晶硅氧中间层薄膜大大提高了a-Si/nc-Si叠层太阳电池的短路电流匹配，同时作为叠层电池中间层和非晶硅顶电池的n层，实现了双功能作用。简化了生产工艺，缩短生产时间，在降低叠层电池生产成本方面起到一定作用。

主权项

一种用于a‑Si/nc‑Si叠层太阳电池的双功能复合结构微晶硅氧中间层的制备方法，其特征在于，双功能复合结构微晶硅氧中间层为三层结构，利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备，具体包括以下步骤：a)以SiH₄、H₂和PH₃为反应气体，在高氢气稀释比状态下在a‑Si表面上生长n型微晶硅薄层；b)以SiH₄、H₂、PH₃和CO₂为反应气体，在步骤a)制备的n型微晶硅层上生长微晶硅氧中间层薄膜；c)以SiH₄、H₂和PH₃为反应气体，在高氢气稀释比状态下在步骤b)微晶硅氧中间层薄膜上生长与a)相同的n型微晶硅薄层；因而形成三层复合结构。