[发明专利]一种硅硅键合检测图像的处理方法及系统

摘要

本发明提供了一种硅硅键合检测图像的处理方法及系统，该方法包括：获取硅硅键合检测图像；去除待处理图像中的背景因素。基于sym8小波去除检测图像的噪声；基于sym4小波变换进行处理，得到高频增强图像；对高频增强图像进行对比度增强处理，得到对比度增强图案；设定键合阈值，将对比度增强图像中边界小于键合阈值的矩阵数值归为0；将边界大于等于键合阈值的灰度值归为255，得到键合边界对比图像；对键合边界对比图像的边界进行处理，得到键合边界图；计算硅硅键合率。本发明通过对图像进行各种变换，从而能够明确地划定的边界图像中提取到硅硅键合率，从而可以准确的分析硅硅键合效率。

主权项

一种硅硅键合检测图像的处理方法，其特征在于，包括：S1、获取硅硅键合检测图像；S2、根据所述待处理图像和预设的背景图像，去除所述待处理图像中的背景因素。S3、基于sym8小波对所述检测图像进行小波变换，去除所述检测图像的噪声；S4、基于sym4小波变换对去噪后的图像进行处理，突出所述去噪后的图像的高频信息，抑制低频信息，得到高频增强图像；S5、对所述高频增强图像进行对比度增强处理，得到对比度增强图案；S6、设定键合阈值，将所述对比度增强图像中边界小于键合阈值的矩阵数值归为0，并设定为键合未成功；将边界大于等于键合阈值的灰度值归为255，并设定为键合成功，得到键合边界对比图像；S7、对所述键合边界对比图像的边界进行处理，得到键合边界图；S8、根据键合边界图中键合成功的像素点的数量和键合未成功的像素点的数量，计算硅硅键合率。