[发明专利]一种薄膜开关及其制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜开关及其制备方法，利用薄膜的导体‑绝缘体‑导体式的以反熔丝为基础的电容器作为关断开关，通过在上下导体加特定电压或电流将绝缘体击穿形成永久通道，从而使开关导通。该薄膜开关具有超薄外形、超小形状因数、非常轻、极低功率、低成本；上千个这样的开关能够轻松的整合到一个单一的封装里；具有智能控制逻辑的智能开关能够整合到一个单一的封装里。

主权项

一种薄膜开关，其特征在于：所述薄膜开关利用以反熔丝为基础的电容器作为关断开关,所述薄膜开关包括面板、上电路、隔离层和下电路，所述上电路为导体层，所述隔离层为绝缘体层，所述下电路为导体层，所述导体层和绝缘体层通过薄膜形成工艺在支持基质上形成，上电路导体层/绝缘体层/下电路导体层为TaN/HfO2/CoSi2，其重量比例为0.3～0.7:2.0～2.5:1.6～1.9；所述绝缘体层包括按照重量份数计的如下原料：PET树脂120～130份、芳纶纤维15～25份、电气石粉6～8份、聚乙烯醇缩丁醛5～7份、DOPO‑BQ 10～13份、十八烷基二甲基羟乙基季铵硝酸盐5～6份、γ‑氨基丙基三乙氧基硅烷0.1～0.2份、成核剂3988 9～10份、热稳定剂5～6份、抗氧剂8～9份；所述的热稳定剂为钡锌稳定剂；所述的抗氧剂为抗氧剂264。