[发明专利]蚀刻液以及硅基板的表面粗糙化的方法在审
| 申请号： | 201610022693.3 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106356296A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉明;陈鹏宇;林文信;刘俊毅;王秋迪 | 申请（专利权）人： | 绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马雯雯,臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液以及硅基板的表面粗糙化的方法，所述硅基板的表面粗糙化的方法包括以下步骤提供硅基板；使用蚀刻液对硅基板进行蚀刻，其中蚀刻液包括硝酸、氢氟酸以及硫酸；以及冲洗硅基板。本发明的蚀刻液有助于使硅基板的表面粗糙化以及移除损伤层。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 以及 硅基板 表面 粗糙 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，其特征在于，包括硝酸、氢氟酸以及硫酸。
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