[发明专利]基板输送装置在审
| 申请号： | 201610024342.6 | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106044220A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 得永直 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板输送装置，该基板输送装置能够从第一输送单元向第二输送单元输送基板，且不会因为在多个输送单元之间产生间隙而导致刻划后的基板落下或弯曲。第一输送单元(14)由三根平皮带(14a～14c)构成，第二输送单元(15)由四根平皮带(15a～15d)构成。这些平皮带配置为其一部分从侧面观察彼此重叠。由此，通过使第一输送单元、第二输送单元(14、15)同步地进行动作，能够使基板(30)不脱落地从第二输送单元(15)输送到第一输送单元(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板输送装置，包括：第一输送单元，从上游向下游输送被载置的基板；以及第二输送单元，与所述第一输送单元的上游侧相邻设置，且在与所述第一输送单元相同的方向上输送所述基板，所述第一输送单元的上游侧端部和所述第二输送单元的下游侧端部以从侧面观察重叠的方式而配置。
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