[发明专利]一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备及其方法

摘要

本发明涉及一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备及其方法，其包括中转循环装置、连接中转循环装置的离心电解装置及连接离心电解装置的真空氯气吸收装置；其中离心电解装置包括外管体、设置于外管体内并分隔外管体为阴极区及阳极区的筒形离子交换膜及设置于阳极区的阳极棒，外管体具有进液口、出液口及氯气交换口，中转循环装置连接进液口及出液口，真空氯气吸收装置连接氯气交换口,相连接的离心电解装置、中转循环装置及真空氯气吸收装置的内部空间为密闭空间。本申请的设备有效杜绝各种废液及废气泄漏，改善设备现场环境及维护员工身体健康，也可避免设备外的零组件直接或间接接触到废液及废气而发生腐蚀损坏。

主权项

一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，包括：中转循环装置；离心电解装置，连接所述中转循环装置；以及真空氯气吸收装置，连接所述离心电解装置；其中所述离心电解装置包括外管体、筒形离子交换膜及阳极棒，所述筒形离子交换膜设置于所述外管体内，并分隔所述外管体为阴极区及阳极区，所述阳极棒设置于所述阳极区，所述外管体具有进液口、出液口及氯气交换口，所述进液口及出液口连通所述阴极区，所述氯气交换口连通所述阳极区，所述中转循环装置连接所述进液口及出液口，所述真空氯气吸收装置连接所述氯气交换口,相连接的所述离心电解装置、中转循环装置及真空氯气吸收装置的内部空间为密闭空间；其中所述离心电解装置还包括底座及盖体，所述底座设置于所述外管体的底部，并具有锥状导流结构，所述锥状导流结构的顶部抵接于所述筒形离子交换膜的底部；所述盖体设置于所述外管体的顶端，并具有气体收集结构，所述气体收集结构的底部连接所述筒形离子交换膜的顶部，所述气体收集结构的顶部连接所述氯气交换口。