[发明专利]一种提高炭/炭复合材料耐高温氧化性能的方法

摘要

本发明公开了一种提高炭/炭复合材料耐高温氧化性能的方法，该方法使用双辉等离子表面冶金技术，先在炭/炭复合材料工件上制备Al渗层，然后渗入Ti和Nb在工件中形成Al‑Ti‑Nb合金涂层，最后再以耐高温氧化金属Zr、Ta或Cr中的一种作为靶材，并通入硅烷作为反应气体，在工件表面制备金属和硅的多层梯度复合涂层。本发明制备的涂层与基体结合强度高、致密性好，并具有优良的耐高温氧化性能。

主权项

一种提高炭/炭复合材料耐高温氧化性能的方法，其特征在于：该方法使用双辉等离子表面冶金技术，先在炭/炭复合材料工件上制备Al渗层，然后渗入Ti和Nb在工件中形成Al‑Ti‑Nb合金涂层，最后再以耐高温氧化金属Zr、Ta或Cr中的一种作为靶材，通入硅烷作为反应气体，沉积过程为：每间隔10‑40min通入硅烷5‑30min，其流量为1‑3sccm，形成包含金属和硅的复合涂层，停止通入硅烷的时间内，反应气氛中的硅烷含量不断减少，使得涂层中形成硅含量不断减少、金属含量不断增多的梯度复合涂层；硅烷的间歇式通入，使装置中硅烷的含量保持先增加后减少的趋势，涂层中硅和金属的含量呈梯度变化，在工件表面制备包含金属和硅的多层梯度复合涂层。