[发明专利]阻隔膜气阻性能的测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 201610027690.9 | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN106979915A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 于甄;解金库;高建聪 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种阻隔膜气阻性能的测试装置及测试方法。该测试装置包括小分子气体储罐，小分子气体的分子直径小于水分子的直径；测试腔，与小分子气体储罐连接，测试腔中设置有阻隔膜，且阻隔膜将测试腔分为第一腔室和第二腔室，第一腔室上设置有测试腔的进气口，第二腔室上设置有测试腔的出气口；第一压力阀，设置于连接进气口的管道上，用于控制进气口与阻隔膜之间的小分子气体的压强；第二压力阀，设置于连接出气口的管道上，用于控制出气口与阻隔膜之间的小分子气体的压强；残余气体分析仪，与出气口连接，用于在捕捉小分子气体后测量阻隔膜的气体透过率。利用上述测试装置获得的阻隔膜气阻性能的精度可以达到10-7g/m2·day。 | ||
| 搜索关键词： | 阻隔 膜气阻 性能 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种阻隔膜气阻性能的测试装置，其特征在于，包括：小分子气体储罐(10)，小分子气体的分子直径小于水分子的直径；测试腔(20)，与所述小分子气体储罐(10)连接，所述测试腔(20)中设置有阻隔膜(100)，且所述阻隔膜(100)将所述测试腔(20)分为第一腔室(210)和第二腔室(220)，所述第一腔室(210)上设置有测试腔(20)的进气口，所述第二腔室(220)上设置有测试腔(20)的出气口；第一压力阀(310)，设置于连接所述进气口的管道上，用于控制所述进气口与所述阻隔膜(100)之间的所述小分子气体的压强；第二压力阀(320)，设置于连接所述出气口的管道上，用于控制所述出气口与所述阻隔膜(100)之间的所述小分子气体的压强；残余气体分析仪(40)，与所述出气口连接，用于在捕捉所述小分子气体后测量所述阻隔膜(100)的气体透过率。
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