[发明专利]声波器件及其制造方法

摘要

声波器件及其制造方法。一种声波器件包括：基板(10)；声波元件(74)，其形成在基板上；第一布线(30)，其形成在基板上并且电连接到声波元件；第二布线(32)，其经由空隙(24)形成在基板上方并且包括固定到第一布线的边缘；固定部(40)，其形成在第一布线的边缘上，向上突出，并且固定到第二布线；以及突出部(42)，其与固定部接触，向上突出，形成在第一布线的边缘上，并且在与第二布线的延伸方向交叉的方向上形成在第二布线的外侧上。

主权项

1.一种声波器件，特征在于包括：基板(10)；声波元件(74)，该声波元件形成在所述基板上；第一布线(30)，该第一布线形成在所述基板上并且电连接到所述声波元件；第二布线(32)，该第二布线经由空隙(24)形成在所述基板上方，并且包括固定到所述第一布线的边缘；固定部(40)，该固定部形成在所述第一布线的边缘上，向上突出，并且固定到所述第二布线；以及突出部(42)，该突出部与所述固定部接触，向上突出，形成在所述第一布线的所述边缘上，并且在与所述第二布线的延伸方向交叉的方向上形成在所述第二布线的外侧上，其中，所述第一布线包括所述固定部和所述突出部，所述第一布线的边缘在与所述第二布线的所述延伸方向交叉的所述方向上行进，并且所述第一布线的朝向所述空隙并且位于所述固定部被固定到所述第二布线的区域的下面的侧表面、以及所述突出部的朝向所述空隙的侧表面沿着与所述第二布线的所述延伸方向交叉的所述方向被定位，所述突出部形成在所述第一布线的边缘的一部分上，没有形成在所述第一布线的所述边缘的其余部分上，所述第一布线和所述第二布线中的每一个包括种子层(16)以及形成在所述种子层上的镀层(22)，所述第一布线的种子层沿着所述第一布线的、朝向所述空隙并且位于所述固定部被固定到所述第二布线的所述区域的下面的侧表面、以及所述突出部的朝向所述空隙的侧表面向上延伸，并且所述种子层在所述第一布线的未形成所述突出部的边缘的、朝向所述空隙的侧表面中不向上延伸。