[发明专利]一种固态装配型薄膜体声波谐振器的制备方法在审
| 申请号： | 201610028453.4 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN105703733A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李国强;刘国荣;李洁 | 申请（专利权）人： | 佛山市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人： | 许伯严 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南海区狮山镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固态装配型薄膜体声波谐振器的制备方法。该制备方法包括以下步骤：在制备衬底上制作该声波谐振器的薄膜结构层；将制备衬底和其上制作的薄膜结构层一起，以该薄膜结构层的一面固定于支撑衬底上；将制备衬底去除，在薄膜结构层之上沉积顶电极并进行相应的刻蚀；最终形成依次层叠为支撑衬底、布拉格反射层、底电极、压电膜和顶电极的结构。采用该方法制备得到的固态装配型薄膜体声波谐振器，克服了常规工艺中无法制备出高质量单晶压电薄膜材料的限制，使该谐振器具备更好的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 装配 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种固态装配型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在制备衬底上制作该声波谐振器中的薄膜结构层，待用；该薄膜结构层包括有压电膜、底电极、布拉格反射层；将制备衬底和其上制作的薄膜结构层一起固定于支撑衬底上，并以该薄膜结构层的一面固定于支撑衬底上，使薄膜结构层与支撑衬底相互连接；将制备衬底去除，并在剥离了制备衬底薄膜结构层表面沉积顶电极；形成依次层叠为支撑衬底、布拉格反射层、底电极、压电膜和顶电极的结构。
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