[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201610028614.X | 申请日： | 2016-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105987012B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涡轮分子泵，能够抑制生成物对间隔件内周面的堆积。涡轮分子泵(1)包括：隔着环状的间隔件(29B)而积层的多个固定翼(21)，以及相对于多个固定翼(21)旋转的多个旋转翼(12)，并且，在间隔件(29B)设置着抑制从间隔件(29B)的内周部(291)向外周部(292)的热移动的热阻部(290)。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种涡轮分子泵，其特征在于包括：多个固定翼，隔着环状的间隔件而积层；以及多个旋转翼，相对于所述多个固定翼旋转，并且所述间隔件具有：内周部及外周部，通过贯通槽或非贯通槽在径向上相互隔开；以及连结部，在径向上连结所述内周部及所述外周部，其泵轴方向的长度小于或等于所述贯通槽或所述非贯通槽的泵轴方向的长度，并且构成为：通过所述连结部进行从所述内周部向所述外周部的热移动，从而抑制了从所述内周部向所述外周部的热移动。
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