[发明专利]直线位移传感器和角度位移传感器的测量系统及测量方法有效
申请号: | 201610029539.9 | 申请日: | 2016-01-14 |
公开(公告)号: | CN105547219B | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 邹大鹏;肖体兵;王鑫 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | G01B21/02 | 分类号: | G01B21/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;林波 |
地址: | 510000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 直线位移传感器和角度位移传感器的测量系统及测量方法,所述测量系统包括伺服电机、滚珠丝杠、螺母滑块、丝杠固定座、联轴器、角度位移传感器、标准光栅尺和被测直线位移传感器;所述滚珠丝杠穿过所述螺母滑块,且两端分别安装所述丝杠固定座,所述伺服电机和所述角度位移传感器通过所述联轴器分别安装于所述丝杠固定座上,所述滚珠丝杠旋转带动所述角度位移传感器同步运动;所述标准光栅尺和所述被测直线位移传感器分别通过连接磁铁的磁力而被所述螺母滑块驱动。本发明建立综合性能的直线位移和角度位移传感器的测量系统,实现高精度和高分辨率的测量通用直线位移传感器和角度位移传感器,同时降低成本和节约占地空间。 | ||
搜索关键词: | 一种 直线 角度 位移 传感器 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种直线位移传感器和角度位移传感器的测量系统,其特征在于:包括伺服电机、滚珠丝杠、螺母滑块、丝杠固定座、联轴器、角度位移传感器、标准光栅尺和被测直线位移传感器;所述滚珠丝杠穿过所述螺母滑块,且两端分别安装所述丝杠固定座,所述伺服电机和所述角度位移传感器通过所述联轴器分别安装于所述丝杠固定座上,所述滚珠丝杠旋转带动所述角度位移传感器同步运动;所述标准光栅尺和所述被测直线位移传感器分别通过连接磁铁的磁力而被所述螺母滑块驱动;所述滚珠丝杠为双丝杠螺母垫片调隙式结构。
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