[发明专利]平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置及其标定和补偿方法有效
| 申请号： | 201610032277.1 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN105675263B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 卢云君;唐锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置，借助于表面上制作有标记点的光学标准镜，放置于拼接平移台上，拼接位移台控制系统控制拼接平移台(3)带动光学标准镜在平面上进行二维运动，由干涉仪对子孔径数据进行采集并传送至数据处理单元。提取子孔径数据中重叠区域的标记点的位置坐标，利用这些重叠区域标记点的位置坐标将所有子孔径数据统一到同一坐标中，可以有效的对子孔径数据的定位误差进行补偿，提高了子孔径拼接的计算精度。本发明不需要高精度的拼接位移台，对拼接位移台的定位误差也不需要增加昂贵的激光干涉仪测量组件，在提高子孔径拼接测量精度的同时，可以有效的降低子孔径拼接测量装置的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 孔径 拼接 系统 定位 误差 标定 装置 及其 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种平面子孔径拼接系统中定位误差的标定装置，其特征在于，包括：干涉仪(1)和相应口径大小的标准平面透镜(2)、光学标准镜(6)和供光学标准镜(6)放置的拼接位移台(3)、与该拼接位移台(3)相连的拼接位移台控制系统(5)、分别与所述的干涉仪(1)和拼接位移台控制系统(5)相连的数据处理单元(4)；所述的干涉仪(1)发出的平行光，垂直入射至标准平面透镜(2)，一部分光束经所述的标准平面透镜(2)反射后沿原路返回，另一部分光束经所述的标准平面透镜(2)透射后入射至所述的光学标准镜(6)上，经该光学标准镜(6)反射后沿原路返回，再次经所述的标准平面透镜(2)透射，与标准平面透镜(2)的反射光形成干涉，由干涉仪(1)进行数据采集，并将数据传送至数据处理单元(4)进行处理；在所述的光学标准镜(6)上设有用于定位的定位标记，用于相邻子孔径之间的对准，完成相邻子孔径之间拼接位移台(3)本身的定位误差和由系统装调误差而导致的相对定位误差的补偿。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610032277.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大口径光束准直测量装置
- 下一篇：一种多孔介质动-压转换特性测量装置
