[发明专利]杂质吸收材料及涂布有该材料的坩埚在审
申请号: | 201610032906.0 | 申请日: | 2016-01-19 |
公开(公告)号: | CN106978625A | 公开(公告)日: | 2017-07-25 |
发明(设计)人: | 魏汝超 | 申请(专利权)人: | 超能高新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/04;C04B41/85 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 中国台湾桃园市龙潭*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种杂质吸收材料及涂布有该材料的坩埚,所述杂质吸收材料包含低氮原子重量百分比的氮化硅(Si3N4-x),其中(4-x)为所述杂质吸收材料于氮化硅(Si3N4-x)化合物的氮原子摩尔数比,且x介于0.32-3.33之间,由于低氮原子重量百分比的氮化硅(Si3N4-x)存在不稳定的悬挂键、不饱和键及其他未配对键结等高活性官能基,因此应用于高温领域时,这些高活性基团为降低能量而吸附来自烧结过程的杂质,大量杂质被本发明的杂质吸收材料吸附,导致反应过程杂质减少,最终产品的产出将有助于减少杂质。 | ||
搜索关键词: | 杂质 吸收 材料 涂布有 坩埚 | ||
【主权项】:
一种杂质吸收材料,其特征在于:所述杂质吸收材料包含具高活性官能基的氮化硅(Si3N4‑x),其中(4‑x)为所述杂质吸收材料于氮化硅(Si3N4‑x)化合物的氮原子摩尔数比,x介于0.32‑3.33之间。
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