[发明专利]杂质吸收材料及涂布有该材料的坩埚在审

专利信息
申请号: 201610032906.0 申请日: 2016-01-19
公开(公告)号: CN106978625A 公开(公告)日: 2017-07-25
发明(设计)人: 魏汝超 申请(专利权)人: 超能高新材料股份有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/04;C04B41/85
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司11227 代理人: 王宝筠
地址: 中国台湾桃园市龙潭*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种杂质吸收材料及涂布有该材料的坩埚,所述杂质吸收材料包含低氮原子重量百分比的氮化硅(Si3N4-x),其中(4-x)为所述杂质吸收材料于氮化硅(Si3N4-x)化合物的氮原子摩尔数比,且x介于0.32-3.33之间,由于低氮原子重量百分比的氮化硅(Si3N4-x)存在不稳定的悬挂键、不饱和键及其他未配对键结等高活性官能基,因此应用于高温领域时,这些高活性基团为降低能量而吸附来自烧结过程的杂质,大量杂质被本发明的杂质吸收材料吸附,导致反应过程杂质减少,最终产品的产出将有助于减少杂质。
搜索关键词: 杂质 吸收 材料 涂布有 坩埚
【主权项】:
一种杂质吸收材料,其特征在于:所述杂质吸收材料包含具高活性官能基的氮化硅(Si3N4‑x),其中(4‑x)为所述杂质吸收材料于氮化硅(Si3N4‑x)化合物的氮原子摩尔数比,x介于0.32‑3.33之间。
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