[发明专利]一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统

摘要

本发明提供了一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统，包括读取部分和传感部分；所述读取部分包括第一电感、信号源和网络分析仪，所述第一电感串联所述信号源，所述网络分析仪并联所述第一电感；所述传感部分包括MEMS开关、第一电容式传感器、第二电容式传感器、第二电感；所述第二电感串联所述第一电容式传感器，所述MEMS开关与所述第二电容式传感器构成的串联支路并联在所述第二电容式传感器两端。通过控制MEMS开关的通断，利用MEMS开关延时特性，分别对第一电容式传感器与第二电容式传感器的数据进行读取，实现无源无线多参数传感，系统简单，易操作。

主权项

一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统，其特征在于：包括读取部分和传感部分；所述读取部分包括第一电感(5)、信号源(6)和网络分析仪(7)，所述第一电感(5)串联所述信号源(6)，所述网络分析仪(7)并联所述第一电感(5)；所述传感部分包括MEMS开关(1)、第一电容式传感器(2)、第二电容式传感器(3)、第二电感(4)；所述第二电感(4)串联所述第一电容式传感器(2)，所述MEMS开关(1)与所述第二电容式传感器(3)构成的串联支路并联在所述第二电容式传感器(3)两端。