[发明专利]单晶制造装置有效
| 申请号： | 201610035873.5 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN105803516B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 阿部信平 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 严鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现腔室的小型化，同时能在制造单晶的过程中观察腔室内部的整个区域的单晶制造装置。单晶制造装置的腔室包括顶板部、底板部和主体部，主体部由中空筒状的石英玻璃制成，且连结顶板部和底板部，在主体部的外周设置有能开闭的反射构件，且反射构件沿周向分割开，且将从腔室的内部发出的热和光反射。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶制造装置 主体部 腔室 反射构件 底板部 顶板部 石英玻璃 整个区域 中空筒状 周向分割 观察腔 光反射 室内部 单晶 开闭 外周 连结 制造 | ||
【主权项】：
1.一种单晶制造装置，包括收容有坩埚和感应加热线圈的腔室，其中，所述腔室包括顶板部、底板部和主体部，所述主体部由中空筒状的石英玻璃制成，且连结所述顶板部和所述底板部，在所述主体部的外周设置有能开闭的反射构件，并且，所述反射构件沿周向分割开，抑制涡流的产生，且将从所述腔室的内部发出的热和光反射。
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