[发明专利]基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置

摘要

本发明公开了一种基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置，包括调平支架、精密直线平移台、双频激光干涉系统、量块和微位移传感器固定块；所述精密直线平移台由所述调平支架支撑；所述微位移传感器固定块固接在所述调平支架上，在所述微位移传感器固定块上设有微位移传感器固定结构；所述双频激光干涉系统包括反射镜、干涉镜和激光头，所述反射镜和所述量块均固定在所述精密直线平移台的可动部件上，所述双频激光干涉系统的出射光线与反射光线平行于微位移传感器的运动轴线，并且对称分布于该运动轴线两侧。本发明能够对微位移传感器进行标定，以确定其位移量和数字输出值之间的输入‑输出关系。

主权项

1.一种基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置，其特征在于，包括调平支架、精密直线平移台、双频激光干涉系统、量块和微位移传感器固定块；所述精密直线平移台由所述调平支架支撑；所述微位移传感器固定块固接在所述调平支架上，在所述微位移传感器固定块上设有微位移传感器固定结构；所述双频激光干涉系统包括反射镜、干涉镜和激光头，所述反射镜和所述量块均固定在所述精密直线平移台的可动部件上，所述双频激光干涉系统的出射光线与反射光线平行于微位移传感器的运动轴线，并且对称分布于该运动轴线两侧；所述调平支架由调平支架A和调平支架B组成；在所述调平支架A上设有两个调平螺钉Ⅰ，两个所述调平螺钉Ⅰ分设在所述调平支架A的两端；在所述调平支架B上设有一个调平螺钉Ⅱ，所述调平螺钉Ⅱ设置在所述调平支架B的中央；所述微位移传感器固定块固定在所述调平支架B上；在所述调平螺钉Ⅰ和所述调平螺钉Ⅱ的底部均嵌装有钢珠；所述量块通过量块固定块与所述精密直线平移台的可动部件固接，所述量块固定块固定在所述精密直线平移台的可动部件上，在所述量块固定块的上表面上形成有安装槽，在所述安装槽内安装有所述量块，所述量块采用设置在其一侧的紧定螺钉锁固在所述安装槽内，在所述量块靠近所述紧定螺钉的侧面上设有垫板，所述紧定螺钉压紧在所述垫板上。