[发明专利]行进阱离子引导器以及有关系统和方法有效
申请号: | 201610037411.7 | 申请日: | 2016-01-20 |
公开(公告)号: | CN105810550B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | P·T·威廉斯;G·帕特里奇;N·戈德伯格 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/26;H01J49/10 |
代理公司: | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人: | 封新琴 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 离子引导器生成射频(RF)场,以随着发送离子通过离子引导器而沿着引导器轴将离子径向封闭至离子射束。RF场的有效电势具有沿着引导器轴分布的电势阱。RF场构造为使得电势阱在轴向方向上朝向离子引导器的出口端移动。 | ||
搜索关键词: | 行进 离子 引导 以及 有关 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离子引导器,其包括:入口端;出口端,其处于沿着引导器轴相对于入口端的一距离处;多个电极,其环绕引导器容积,并且从入口端到出口端沿着引导器轴相对于彼此轴向间隔;以及RF电子器件,其配置为用于向所述电极施加RF驱动信号,所述RF驱动信号对于在包括沿着引导器轴分布的多个电势阱的引导器容积中生成RF场是有效的,其中,所述RF场包括对于在至少一个电极集合中按朝向所述出口端的轴向方向移动电势阱有效的波形,其中:所述多个电极包括沿着引导器轴按序列重复的多个电极集合;每个电极集合包括N个电极,其中,N=3或更大;所述RF驱动信号包括分别包括N个不同波形的N个不同RF驱动信号,N个不同波形中的每一个具有值与其它波形的参数的值不同的参数;RF电子器件被配置为用于将N个不同RF驱动信号施加到每个电极集合中的相应N个电极,其中,从一个电极集合到下一电极集合重复施加所述N个不同RF驱动信号的序列;N个不同RF波形具有形式其中,Vi是零到峰值的幅度,F是其幅角的复函数并且以周期2π为周期,t是时间,ω和ωm是表示主角频率和调制角频率的标量,是相位,i是从1到N的整数,并且其中,对于所述N个不同RF波形中的每一个,所述相位是不同的;以及电势阱在轴向方向上移动的速度被设置成使得RF场的有效电势在时间上平均为逼近引导器轴上的有效电势的非零量值。
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