[发明专利]一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件有效

专利信息
申请号: 201610039249.2 申请日: 2016-01-21
公开(公告)号: CN105702753B 公开(公告)日: 2017-08-25
发明(设计)人: 高荣礼;符春林;蔡苇;陈刚;邓小玲 申请(专利权)人: 重庆科技学院
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/032
代理公司: 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)50223 代理人: 王玉芝
地址: 401331*** 国省代码: 重庆;85
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摘要: 发明公开了一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件,包括衬底,所述衬底上沉积铁电薄膜,该铁电薄膜的极化方向垂直于其表面,消除铁电薄膜器件的光伏效应中退极化场的贡献;所述铁电薄膜上沉积有呈正多边形的中心电极,铁电薄膜上还沉积有多个正多边形的边缘电极,边缘电极的数量与所述中心电极的边数相等,边缘电极阵列在中心电极的周围,中心电极的每条边与相邻的边缘电极的边平行且间隔距离为L,所述边缘电极和中心电极的材料相同且同时制备,消除铁电薄膜器件的光伏效应中肖特基势垒的贡献。特别是铁电薄膜为T相时,还可消除铁电薄膜器件的光伏效应中畴壁的贡献,从而得到具有体光伏效应的铁电薄膜器件。
搜索关键词: 一种 具有 体光伏 效应 薄膜 器件
【主权项】:
一种具有体光伏效应的铁电薄膜器件,其特征在于:包括衬底(1),所述衬底(1)上沉积铁电薄膜(2),该铁电薄膜(2)的极化方向垂直于其表面;所述铁电薄膜(2)上沉积有呈正多边形的中心电极(3),铁电薄膜(2)上还沉积有多个正多边形的边缘电极(4),边缘电极(4)的数量与所述中心电极(3)的边数相等,边缘电极(4)阵列在中心电极(3)的周围,中心电极(3)的每条边与相邻的边缘电极(4)的边平行且间隔距离为L,所述边缘电极(4)和中心电极(3)的材料相同且同时制备。
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