[发明专利]基板贴合装置

摘要

提供一种基板贴合装置，包括：加工基板投入单元，接收来自外部的加工基板和运送用基板，对所述加工基板实施基板贴合前的准备工作；加工基板贴合单元，处于真空状态，搬入从所述加工基板投入单元搬出的所述加工基板和运送用基板，在贴合所述加工基板与所述运送用基板时，不使用粘合材料，由多个贴合力施加装置分别控制所产生的贴合力，以便按基板位置施加不同的贴合力进行贴合。根据上述结构，即便使用薄的加工基板也能够使加工基板运送过程中的损坏最小化。

主权项

一种基板贴合装置，包括：加工基板投入单元，接收来自外部的加工基板和运送用基板，对所述加工基板实施基板贴合前的准备工作；加工基板投入单元包括第一装载单元、切割单元、清洗单元、第一卸载单元、第二卸载单元；所述第一装载单元，从外部投入的加工基板搬入到第一装载单元上；所述切割单元，搬入到第一装载单元上的加工基板搬入到切割单元，切割成适当尺寸；所述清洗单元，在切割单元经切割的加工基板搬入到清洗单元进行清洗工序；所述第一卸载单元，在清洗单元对加工基板的清洗结束后，加工基板从清洗单元搬出到第一卸载单元；所述第二卸载单元，运送用基板从外部搬入到加工基板投入单元的过程中，运送用基板搬入并装载到第二卸载单元；还包括第一移送单元、翻转单元、第二移送单元、贴合单元、第三卸载单元；所述第一移送单元搬出装载在所述第一卸载单元上的加工基板并移送到翻转单元；所述第一移送单元由机器臂构成；所述翻转单元从第一移送单元接收加工基板之后翻转加工基板；所述第二移送单元将搬入到翻转单元的加工基板或运送用基板搬入贴合单元，并将经贴合的贴合基板搬出到第三卸载单元上；所述贴合单元，包括真空腔、排气单元、基板排列单元；加工基板和运送用基板搬入真空腔内部并进行基板排列之后，通过排气单元对真空腔内部进行排气而形成真空；加工基板贴合单元，处于真空状态，搬入从所述加工基板投入单元搬出的所述加工基板和运送用基板，在贴合所述加工基板与所述运送用基板时，不使用粘合材料，由多个贴合力施加装置分别控制所产生的贴合力，以便按基板位置施加不同的贴合力进行贴合；所述加工基板贴合装置包括检查单元；第二移送单元将真空腔内部的贴合基板搬出到第三卸载单元检查贴合状态；贴合基板与其它基板贴合而作为整体具有规定刚性时，利用单独的脱离器，从加工基板分离出运送用基板。