[发明专利]体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器有效
| 申请号： | 201610040724.8 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN106059524B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 李文喆;李玲揆;金德焕;孙尚郁;金哲秀;申济湜 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/10;H03H9/46 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 包括 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器，包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间，其中，所述第一侧边和所述第二侧边中的至少一个包括至少三个线段，并且所述至少三个线段包括依次连接到所述短边的第一线段、第二线段和第三线段。
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