[发明专利]晶体管及显示设备

摘要

本发明涉及晶体管及显示设备。具体地说提供一种具有有利的电特性和高可靠性的晶体管以及包括该晶体管的显示设备。该晶体管是将氧化物半导体用于沟道区而形成的底栅晶体管。经过通过热处理进行的脱水或脱氢的氧化物半导体层被用作活动层。该活动层包括微晶化的浅表部分的第一区以及其余部分的第二区。通过使用具有该结构的氧化物半导体层，能够抑制归因于湿气进入浅表部分或者氧自浅表部分排除的转变为n型以及寄生沟道的产生。另外，还能够降低在氧化物半导体层与源极和漏极电极之间的接触电阻。

主权项

一种半导体装置，包括：氧化物半导体层；与所述氧化物半导体层电连接的源极电极；以及与所述氧化物半导体层电连接的漏极电极，其中所述氧化物半导体层包括包含纳米晶体的区域、以及沿垂直于表面的方向的c轴取向的结晶区，其中所述氧化物半导体层包括与所述源极电极重叠的第一区，其中所述氧化物半导体层包括与所述漏极电极重叠的第二区，其中所述氧化物半导体层包括所述第一区和所述第二区之间的第三区，其中所述第三区包含比所述第一区多的氧，并且其中所述第三区包含比所述第二区多的氧。