[发明专利]微壳体振动陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201610042778.8 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105698780B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;吴学忠;侯占强;李微;陈志华;吴宇列;卢坤;石岩 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/567 | 分类号： | G01C19/567 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 赵洪;钟声 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微壳体振动陀螺及其制备方法，该微壳体振动陀螺包括微壳体陀螺谐振子和玻璃基板，微壳体陀螺谐振子设于玻璃基板上，微壳体陀螺谐振子包括回转壳体和多个敏感质量元件，敏感质量元件均布于回转壳体底部的外圆周，回转壳体和多个敏感质量元件相对于玻璃基板的面上设有金属膜，玻璃基板包括多个固定电容板，多个固定电容板上与多个敏感质量元件一一对应。制备方法包括：高精度靠模制备微壳体陀螺谐振子和微装配。该微壳体振动陀螺基于面外驱动和检测，具有便于加工且加工精度高、驱动和检测效率高、便于模态和频率修调、鲁棒性好、成本低廉等优点，该制备方法能极大提高微壳体陀螺谐振子的三维曲面面形加工精度和结构对称度。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺 谐振子 壳体 敏感质量元件 制备 玻璃基板 壳体振动 回转壳体 固定电容板 加工 驱动 结构对称 三维曲面 金属膜 鲁棒性 外圆周 微装配 检测 均布 靠模 面形 模态 | ||
【主权项】：
1.一种微壳体振动陀螺，包括微壳体陀螺谐振子（1）和玻璃基板（2），所述微壳体陀螺谐振子（1）设于所述玻璃基板（2）之上，其特征在于，所述微壳体陀螺谐振子（1）包括回转壳体（11）和多个敏感质量元件（12），所述多个敏感质量元件（12）均匀分布于所述回转壳体（11）底部的外圆周，所述回转壳体（11）和多个敏感质量元件（12）相对于所述玻璃基板（2）的面上设有金属膜（13），所述玻璃基板（2）包括多个固定电容板（21），所述多个固定电容板（21）上与所述多个敏感质量元件（12）一一对应，每个固定电容板（21）与其对应的敏感质量元件（12）之间有间隙，构成陀螺面外电容。
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