[发明专利]压电泵

摘要

本发明公开了一种压电泵，泵体上表面设有中心沉腔，下表面设有入流沉腔和出流沉腔，中心沉腔底部与入流沉腔相对的位置设有进液阀片安装沉槽，入流沉腔和进液阀片安装沉槽通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通。进液阀片安装在进液阀片安装沉槽内并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖。压电振子安装在泵体上表面并将中心沉腔封盖；所述进液阀片和排液阀片均为由金属薄层和聚合物薄膜层构成的双层结构，其中聚合物薄膜层朝向进液孔/排液孔。本发明压电泵结构简单、响应速度快、阀片关闭性能好，工作效率高。

主权项

压电泵，包括泵体、进液阀片、排液阀片、压电振子、出口管和入口管，其特征在于：所述泵体是一体化结构，泵体上表面设有中心沉腔，下表面设有入流沉腔和出流沉腔，中心沉腔底部与入流沉腔相对的位置设有进液阀片安装沉槽，入流沉腔和进液阀片安装沉槽通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通；进液阀片安装在进液阀片安装沉槽内并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖；压电振子安装在泵体上表面并将中心沉腔封盖；在泵体下表面分别安装有入流沉腔端盖和出流沉腔端盖，以各自将入流沉腔和出流沉腔封盖；在泵体侧面设有进液通道和排液通道，进液通道与入流沉腔连通，排液通道和出流沉腔连通，所述入口管安装在进液通道进口端，出口管安装在排液通道出口端；所述进液阀片和排液阀片均为由金属薄层和聚合物薄膜层构成的双层结构，其中聚合物薄膜层朝向进液孔/排液孔；所述进液阀片和排液阀片的金属薄层和聚合物薄膜层均为环片带悬臂梁结构，悬臂梁一端与对应环片一体成型，悬臂梁另一端作为自由端将进液孔/排液孔封盖。