[发明专利]一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器

摘要

该发明公开了一种PMMA膜制备方法及PMMA膜电阻式柔性压力传感器，涉及柔性压力传感器结构和制备，具体涉及PMMA薄膜制备工艺以及使用PMMA薄膜的电阻式柔性压力传感器的结构。该传感器包括：上电极、上电极衬底、下电极、下电极衬底、封装结构，上电极位于上电极衬底下表面，下电极位于下电极衬底的上表面，上电极与下电极之间留有空腔，所述上、下电极包括：导电薄膜、设置于导电薄膜上的银电极，与银电极相连的铜导线，下电极衬底为PDMS薄膜，其特征在于上电极衬底为PMMA薄膜。本发明克服了PDMS薄膜的自身容易塌陷粘连的缺点，提高使用PDMS制备的对电极式压力传感器稳定性，从而拓宽PDMS对电极式柔性压力传感器的使用领域，并且极大的降低了压力传感器的成本。

主权项

一种PMMA膜电制备方法，该方法包括：步骤1：PMMA的清洗方法；将PMMA颗粒使用洗洁精和去离子水清洗后氮气吹干；再将吹干的PMMA颗粒使用无水乙醇浸泡后，使用超声机超声清洗，然后使用N₂气吹干待用；将上述PMMA颗粒再用去离子水浸泡，使用超声清洗机超声清洗，清洗完后使用N₂气吹干待用；步骤2：对旋涂需要的基板做预处理；步骤3：将适量干燥的PMMA颗粒放入CHCl₃、CCl₄或TFH溶剂中，搅拌至PMMA颗粒完全溶解于溶剂中；步骤4：将基板放置在旋涂机上，将旋涂机转速设定在300rpm～400rpm；将足量的PMMA的溶液滴在基板上，至PMMA溶液均匀平铺于基板上；旋涂成功后，将覆有PMMA薄膜的基板放置在高温烘箱中，将烘箱温度设置在50℃～80℃通风热烘至薄膜凝固成型，最后剥离薄膜。