[发明专利]一种金属/氧化物复合表面增强拉曼活性基底的制备方法

摘要

本发明提供了一种金属/氧化物复合表面增强拉曼活性基底的制备方法，解决了目前的技术方案很难制备出具有多层膜结构的种金属/氧化物复合基底的问题，同时本发明可适用于多种金属和氧化物的复合，适用范围广泛。本发明方法首先利用自组装技术制备二维有序聚苯乙烯胶体阵列。然后，利用等离子刻蚀技术对二维有序聚苯乙烯胶体阵列进行刻蚀。第三步、以经过第二步处理的聚苯乙烯胶体阵列为衬底，在保护气氛或真空条件下通过磁控溅射方法在衬底表面依次生长金属/氧化物复合多层膜。最后在保护气氛下进行热处理，经过特殊的热处理得到的金属/氧化物复合表面增强拉曼活性基底的表面增强拉曼活性得到了明显的增强。

主权项

一种金属/氧化物复合表面增强拉曼活性基底的制备方法，具体方法如下：步骤一、利用自组装技术制备二维有序聚苯乙烯胶体阵列，其中，胶体粒子尺寸为100～500nm；步骤二、利用等离子刻蚀技术对二维有序聚苯乙烯胶体阵列进行刻蚀，使胶体粒子之间相距10～30nm；步骤三、以经过步骤二处理的聚苯乙烯胶体阵列为衬底，在保护气氛或真空条件下通过磁控溅射方法在衬底表面依次生长金属/氧化物复合多层膜，其中复合多层膜的层数大于一层；其中，金属每层厚度为10～50nm，氧化物每层厚度为1～10nm；所述金属为Au、Ag、Pt或Pd；所述氧化物为SiO₂、Al₂O₃或TiO₂；步骤四、在保护气氛下进行热处理，所述的热处理方法如下：以5～2℃/分钟的升温速度由室温升高到580～650℃，升温速率逐渐降低；在580～650℃温度下保温1小时以上后；自然冷却至室温。