[发明专利]具有体积可变型坩埚的沉积源在审
| 申请号： | 201610044642.0 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN105821380A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 金旻首;瓦列里·布鲁辛斯奇 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种具有体积可变型坩埚的沉积源，其包括：坩埚，容纳有机沉积物并具有叠置结构；加热器，加热坩埚和有机沉积物；以及至少一个射出喷嘴，布置在坩埚的一侧，其中，通过所述叠置结构来改变内部体积。通过该构造，可提供一种具有体积可变型坩埚的沉积源，它具有如下的优点：通过改变容纳有机沉积物的坩埚的体积以一起应用体积控制和热能控制，来快速且精确地控制坩埚内部和外部压力差，并保持较窄的沉积角度，从而减少阴影现象。此外，可提供一种具有体积可变型坩埚的沉积源，即使在沉积的最后阶段剩余少量的有机沉积物时，它也能够保持工艺的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 体积 变型 坩埚 沉积 | ||
【主权项】：
一种具有体积可变型坩埚的沉积源，包括：坩埚，容纳有机沉积物并具有叠置结构；加热器，加热所述坩埚和所述有机沉积物；以及至少一个射出喷嘴，布置在所述坩埚的一侧，其中，通过所述叠置结构来改变内部体积。
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