[发明专利]一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法

摘要

本发明涉及一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同的模具，置于压力20Pa～400Pa，温度1450℃～1850℃，在惰性气体保护下，连续通入甲烷和/或丙烷气体，先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度5-30微米，再沉积热解氮化硼坩埚模具，脱模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。本发明通过调整通气工艺，先在模具表面沉积一层热解石墨再沉积制得热解氮化硼坩埚，生产完毕对产品脱模后，石墨模具表面有一层热解石墨涂层，再对石墨模具抛光处理时大大减小了石墨模具的磨损，增加石墨模具的使用次数，降低了更换石墨模具的成本。

主权项

一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同的模具，置于压力20Pa～400Pa，温度1450℃～1850℃，在惰性气体保护下，连续通入甲烷和/或丙烷气体，先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度5‑30微米，再沉积热解氮化硼坩埚模具，脱模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。