[发明专利]一种单晶硅棒缺陷超声检测系统

摘要

本发明公开了一种单晶硅棒缺陷超声检测系统，所述收发同体超声探头和超声接收探头的数量均为两个，分别安装在可转动圆桶的左右两侧、前后两侧，所述可转动圆桶的内底面上开设有相互垂直的水平滑轨和竖直滑轨，水平滑轨和竖直滑轨上均滑动安装有带伺服装置的夹持块，所述收发同体超声探头和超声接收探头均通过电动伸缩杆与固定支架的上端相连，还包括数据接收处理模块，人机操作模块，三维模型建立模块，虚拟作动器，虚拟传感器和转移节点模块。本发明采用双树复小波对所接收到的超声回波数据进行了多尺度分解并重构，提高了检测的精确度，且在可在检测过程中生成动态的三维单晶硅棒体，进一步提高了检测的精确度。

主权项

1.一种单晶硅棒缺陷超声检测系统，包括可转动圆桶(2)和固定支架(5)，可转动圆桶(2)外壁下端均匀设有角度刻度线，可转动圆桶(2)内卡接有待检测的圆柱形单晶硅棒(6)，在待检测的圆柱形单晶硅棒(6)直径对称的圆壁之外分别设置有收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)，收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)位于同一水平面上，其特征在于，所述收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)的数量均为两个，分别安装在可转动圆桶(2)的左右两侧、前后两侧，所述可转动圆桶(2)的内底面上开设有相互垂直的水平滑轨(9)和竖直滑轨(10)，水平滑轨(9)和竖直滑轨(10)上均滑动安装有带伺服装置的夹持块(7)，所述收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)均通过电动伸缩杆(8)与固定支架(5)的上端相连，还包括数据接收处理模块，用于根据所接收到的超声回波数据特性，设定最佳分解层数，并按照最佳分解层数对所接收到的超声回波数据进行双树复小波变换，得到各层分解系数，然后对所得的各层分解系数分别进行重构，得到各层重构的超声回波数据，并将所得的重构的超声回波数据发送到三维模型建立模块；人机操作模块，与可转动圆桶、带伺服装置的滑块、电动伸缩杆、收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)相连，用于输入控制可转动圆桶、带伺服装置的滑块、电动伸缩杆、收发同体超声探头(3)和超声接收探头(4)的命令，并将输入的命令发送到转移节点模块；三维模型建立模块，用于根据所接收到的重构的超声回波数据建立待检测的圆柱形单晶硅棒的三维模型；虚拟作动器，用于驱动参数变化的，与三维生成模块中的各元素建立关系后，在指定的范围内对参数进行变动，从而驱动仿真分析方法针对不同的参数进行计算求解；虚拟传感器，用来在仿真模型中插入各类型的来达到直接获取相应的结果或信息的目标的逻辑单元；转移节点模块，与三维生成模块中的各元素相连，通过改变转移节点的位置、方向设置，使待检测的圆柱形单晶硅棒的三维模型产生相应的运动；中央处理器，用于协调上述所有模块进行工作。