[发明专利]大口径光束准直测量装置

摘要

一种基于远场采样的大口径光束准直测量装置，包括空间滤波器小孔、第一空间滤波器透镜、第二空间滤波器透镜、第一漏光反射镜、缩束透镜、由近场成像透镜和近场探测器构成的近场成像系统、由远场成像透镜和远场探测器构成的远场成像系统，所述近场探测器的输出端和远场探测器的输出端分别与计算机相连，该计算机与准直调整马达反射镜组相连，该准直调整马达反射镜组由第一马达反射镜和第二马达反射镜组成；其特征在于，还包括楔板、直角棱镜、全反镜和装配于导轨上的能量计。本发明具有设备简、调整易、体积小、价格低、兼具准直与能量测量功能的特点。

主权项

一种基于远场采样的大口径光束准直测量装置，包括空间滤波器小孔(1)、第一空间滤波器透镜(17)、第二空间滤波器透镜(18)、第一漏光反射镜(3)、缩束透镜(4)、由近场成像透镜(7)和近场探测器(8)构成的近场成像系统、由远场成像透镜(9)和远场探测器(10)构成的远场成像系统，所述近场探测器(8)的输出端和远场探测器(10)的输出端分别与计算机相连，该计算机与准直调整马达反射镜组相连，该准直调整马达反射镜组由第一马达反射镜(11)和第二马达反射镜(12)组成；其特征在于，还包括楔板(2)、直角棱镜(6)、全反镜(16)和装配于导轨(19)上的能量计(5)；主光路依次经所述的第一马达反射镜(11)、第二马达反射镜(12)、第一空间滤波器透镜(17)、空间滤波器小孔(1)和第二空间滤波器透镜(18)后入射至所述的楔板(2)，该楔板(2)与主光路光轴成一定夹角放置；该主光路经该楔板(2)透射后的透射光路经所述的第一漏光反射镜(3)后输出，该主光路经该楔板(2)反射后的测量光路依次经所述的第二空间滤波器透镜(18)、全反镜(16)和缩束透镜(4)后入射至所述的直角棱镜(6)，由该直角棱镜(6)分束为反射光路和透射光路，所述反射光路经所述的近场成像透镜(7)入射至所述的近场探测器(8)，所述的透射光路经远场成像透镜(9)入射至远场探测器(10)；所述的全反镜(16)置于所述的第一空间滤波器透镜(17)和空间滤波器小孔(1)之间、测量光路聚焦位置的后方；所述的导轨(19)放置在所述的缩束透镜(4)和直角棱镜(6)之间，由计算机控制该导轨(19)，带动能量计(5)移入与移出。