[发明专利]离子植入机及离子植入方法

摘要

本发明一实施例的一种离子植入机包含一处理室、一前开式晶圆传送盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)及一温度处理组件。在处理室中，一工件可依离子植入配方被植入离子。前开式晶圆传送盒能将工件送入或送出处理室。温度处理组件包含一真空室、一加热模块及一冷却模块。真空室与处理室连通，且真空室具有一加热空间及一相邻于加热空间的冷却空间。加热模块从加热空间的一侧安装于真空室，用于将位于加热空间的工件加热到一第一温度；而冷却模块安装于冷却空间，用于将位于冷却空间的工件冷却到一第二温度，其中第二温度不同于第一温度。同时揭露种一离子植入方法。

主权项

一种离子植入机，其特征在于，包含：一处理室，其中一工件在该处理室内依据一离子植入配方被植入离子；一前开式晶圆传送盒，传送该工件进出该处理室；以及一温度处理组件，其包含：一直空室，与该处理室连通，并具有一加热空间及邻近该加热空间的一冷却空间；一加热模块，从该加热空间的一侧，安装于该真空室，用于加热位于该加热空间的该工件到一第一温度；以及一冷却模块，安装于该冷却空间，用于冷却位于该冷却空间的该工件到一第二温度，其中该第二温度不同于该第一温度。