[发明专利]样品台

摘要

本发明涉及一种样品台，其包括基台、固定块以及螺纹紧固件。该样品台可以用于扫描电镜的检测过程中，主要用于实现对样品截面进行固定检测。该样品台的固定块上设有限位槽和开口，螺纹紧固件的头部可卡在该限位槽中，连接部能够通过该开口穿出限位槽，螺纹部与基台的固定孔相适配。在旋紧螺纹紧固件时，由于固定块与螺纹紧固件的头部卡接，可有效避免固定块左右移动，从而可避免对样品形成切向挤压造成样品变形，有效提高了检测结果的准确性。该样品台还可以通过限位槽与螺纹紧固件的头部相配合实现定位，操作更简便。

主权项

1.一种样品台，其特征在于，包括：基台，所述基台上设有样品槽，所述样品槽具有相对的两内壁，其中一内壁设有贯穿至所述基台外侧壁的固定孔，所述固定孔为内螺纹孔，另一内壁为平面结构，所述固定孔的轴向与该平面结构的内壁垂直设置；固定块，所述固定块设有限位槽，所述限位槽开口于所述固定块的至少一表面，且所述固定块从所述限位槽的一内壁至所述固定块的外侧壁设有与所述限位槽连通的开口；以及螺纹紧固件，所述螺纹紧固件的长度小于所述样品槽的宽度，所述螺纹紧固件具有头部、连接部及螺纹部，所述头部通过所述连接部与所述螺纹部连接，所述头部用于安放在所述限位槽内，所述连接部能够从所述开口穿出所述限位槽，所述螺纹部具有外螺纹且与所述固定孔相适配。